DM2500
MMEDXRF輕中元素光譜儀
(標(biāo)準(zhǔn)型)(水泥行業(yè)專用)
多單色激發(fā)實(shí)現(xiàn)高峰背比,使能測(cè)元素(B~Zn),
其準(zhǔn)確度媲美大型波長(zhǎng)色散光譜儀
標(biāo)準(zhǔn)型針對(duì)水泥行業(yè)設(shè)計(jì)。
亦或經(jīng)微改后用于各行各業(yè)
采用
多單色激發(fā)能量色散X射線熒光(MMEDXRF)分析技術(shù)
對(duì)數(shù)螺線型雙曲面彎晶(LSDCC)實(shí)現(xiàn)衍射并作為二次靶
高計(jì)數(shù)率、高分辨率、高透過(guò)率(AP3.3窗)SDD探測(cè)器
電壓、電流、靶材完美組合的微焦斑薄鈹窗X射線管源
符合標(biāo)準(zhǔn)
GB/T176
JB/T11145
JC/T1085
概述
DM2500MMEDXRF輕中元素光譜儀,詳稱DM2500多單色激發(fā)能量色散X射線熒光輕中元素(B~Zn)光譜儀,是本公司集數(shù)十年X熒光光譜儀的研究經(jīng)驗(yàn),在公司原有的DM系列X熒光硫鈣鐵分析儀、X熒光多元素分析儀、X熒光光譜儀等的基礎(chǔ)上研制推出的一種具創(chuàng)新性的XRF光譜儀。它采用多單色激發(fā)能量色散X射線熒光(MMEDXRF) ( Multiple Monochromatic Excitation Energy Dispersive X-Ray Fluorescence)分析技術(shù)。主要部件,如:?jiǎn)紊w采用本公司研制的具有本公司專利的對(duì)數(shù)螺線旋轉(zhuǎn)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)聚焦鍺單色晶體,X射線管采用KeyWay公司生產(chǎn)的50W微焦點(diǎn)大輻射角薄鈹窗X射線管,并對(duì)其高壓、電流、靶材進(jìn)行最佳組合, X射線探測(cè)器采用德國(guó)Ketek公司生產(chǎn)的具有高計(jì)數(shù)率、高能量分辨率、高透過(guò)率的常溫用SDD半導(dǎo)體X射線探測(cè)器。并且采用具有本公司自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的輕元素專用的光學(xué)系統(tǒng)及多種方法組合使用的多個(gè)單色激發(fā)系統(tǒng)等獨(dú)有的技術(shù),極大地提高了儀器的靈敏度和峰背比。它還采用X射線向下照射系統(tǒng),樣品自旋裝置,特別適合粉末壓片樣品,且可根據(jù)應(yīng)用選擇真空系統(tǒng)或自充氣系統(tǒng)。由此使本光譜儀達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。在與大型波長(zhǎng)色散光譜儀的比較試驗(yàn)中,其大部分性能指標(biāo)接近或達(dá)到大型波長(zhǎng)色散光譜儀的性能指標(biāo),某些甚至超過(guò)。其性能指標(biāo)相比進(jìn)口同類產(chǎn)品更好,而價(jià)格僅為進(jìn)口同類產(chǎn)品的一半,具有無(wú)可比擬的價(jià)格性能比。另外國(guó)內(nèi)企業(yè)售后服務(wù)的方便程度是國(guó)外企業(yè)所無(wú)法相比的。且本光譜儀良好的屏蔽防護(hù)設(shè)計(jì)保證無(wú)任何射線泄漏,滿足輻射豁免要求。
適用范圍
DM2500MEDXRF輕中元素光譜儀的標(biāo)準(zhǔn)型是針對(duì)水泥行業(yè)專門(mén)設(shè)計(jì)制造的,可用于水泥生料、熟料、原料等的含量測(cè)量。其符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 176—2017《水泥化學(xué)分析方法》的相關(guān)要求,符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JC/T1085—2008《水泥用X射線熒光分析儀》,符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JB/T11145—2011《X射線熒光光譜儀》。
DM2500MEDXRF輕中元素光譜儀除用于水泥行業(yè)外,還能用于其他各行各業(yè)所有物料的含量測(cè)量。其標(biāo)準(zhǔn)型雖然是針對(duì)水泥行業(yè)專門(mén)設(shè)計(jì)制造的,但只要用戶所要求的測(cè)量元素在B(5)~Zn(30)的范圍內(nèi),則大部分情況可直接使用標(biāo)準(zhǔn)型進(jìn)行測(cè)量。如貴用戶對(duì)某些元素的測(cè)量有特殊的要求,則本公司可根據(jù)用戶的要求更改單色激發(fā)系統(tǒng)和或軟件系統(tǒng)以滿足用戶對(duì)測(cè)量元素的要求。
特點(diǎn)
快速同時(shí)–所需測(cè)量元素同時(shí)快速分析,一般幾十秒給出含量結(jié)果。
高準(zhǔn)確度–采用先進(jìn)MMEDXRF技術(shù),LSDCC核心技術(shù),根據(jù)所要測(cè)量的元素來(lái)選擇單色光的能量及產(chǎn)生單色光的方法,極大地提高了儀器的靈敏度和峰背比,具出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性,極高的準(zhǔn)確度。
向下照射–采用X射線向下照射系統(tǒng),杜絕了樣品粉末污染損壞探測(cè)系統(tǒng)的可能,特別適合水泥生熟料等粉末樣品。
樣品自旋–具有樣品自旋裝置,消除了壓片樣品中由于特硬物質(zhì)的存在而不易粉碎造成的樣品不均勻性。
長(zhǎng)期穩(wěn)定–采用可變?cè)鲆鏀?shù)字多道,有PHA自動(dòng)調(diào)整、漂移校正、偏差修正等功能,具極好的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
環(huán)保節(jié)能–射線防護(hù)達(dá)豁免要求。分析時(shí)不接觸不破壞樣品,無(wú)污染,無(wú)需化學(xué)試劑,也不需要燃燒。
使用方便–觸摸屏操作。樣品粉碎壓片放入儀器后只需按[啟動(dòng)]鍵即可,真正實(shí)現(xiàn)一鍵操作。
高可靠性–一體化設(shè)計(jì),集成化程度高,環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng),抗干擾能力強(qiáng),可靠性高。
高性價(jià)比–無(wú)需鋼瓶氣體,運(yùn)行維護(hù)成本極低。價(jià)格為國(guó)外同類產(chǎn)品的一半。是真正的高性價(jià)比產(chǎn)品。
尖端技術(shù)
多單色激發(fā)能量色散X射線熒光(MMEDXRF)分析技術(shù)
傳統(tǒng)XRF,特別是EDXRF,無(wú)法實(shí)現(xiàn)超輕元素準(zhǔn)確測(cè)量的一個(gè)主要原因是X射線光管出射譜中連續(xù)軔致輻射的散射使得X射線熒光光譜的連續(xù)散射背景較高,而原子序數(shù)越低的元素?zé)晒猱a(chǎn)額越低,較低的熒光射線強(qiáng)度將淹沒(méi)在較高的背景之中。
單色激發(fā)能量色散X射線熒光(Monochromatic Excitation Beam Energy Dispersive X-Ray Fluorescence)分析技術(shù),就是采用光學(xué)器件將X射線光管出射譜單色化,進(jìn)而使得熒光光譜的連續(xù)散射背景極大地降低,同時(shí)盡可能少的降低甚至于可能的話增加所需激發(fā)X射線的單色化的線或窄能量帶的強(qiáng)度,從而大大提高所測(cè)元素X射線熒光光譜的峰背比,實(shí)現(xiàn)超輕元素的準(zhǔn)確測(cè)量。其原理圖如圖1。
圖1.MEDXRF分析技術(shù)原理圖
激發(fā)樣品的X射線能量越遠(yuǎn)離所需分析元素的吸收限,其激發(fā)效率就越低。這就使得單色激發(fā)的光譜儀有一個(gè)局限,就是某一個(gè)單色能量的激發(fā)源只能測(cè)定一定原子序數(shù)范圍內(nèi)的元素。由于DM2500要求輕中元素都可測(cè)量,所以用只有一個(gè)單色能量的激發(fā)源將使輕元素的激發(fā)效率很低從而無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)量輕元素,為此2500采用2個(gè)單色能量的激發(fā)源,分別激發(fā)輕元素(Cl以下)和中元素(K-Zn)。故稱多單色激發(fā)。
用于輕元素測(cè)量的高衍射效率點(diǎn)對(duì)點(diǎn)聚焦的對(duì)數(shù)螺線旋轉(zhuǎn)雙曲面晶體 (LSDCC)
將X射線光管出射譜單色化的方法很多,有濾波片法,二次靶法和衍射法等。衍射必須滿足Bragg定律:nλ=2dsinθ,所以其具有極好的單色性。而衍射法中的雙曲面衍射晶體DCC(Doubly CurvedCrystals)又由于能將點(diǎn)源聚焦,所以有大的收集立體角,從而有極高的效率。另外,聚焦還能使照射到樣品的光斑很小,從而使小面積的半導(dǎo)體探測(cè)器Si-PIN或SDD可以接受大部分樣品較小面中的熒光射線,也就是說(shuō)DCC還提高了探測(cè)效率。由于對(duì)數(shù)螺線LS(Logarithmic Spiral)DCC有制作方便,可制作較大面積等優(yōu)點(diǎn)。所以DM2500采用的對(duì)數(shù)螺線旋轉(zhuǎn)雙曲面晶體LSDCC。其點(diǎn)對(duì)點(diǎn)聚焦原理圖如圖2。
圖2. LSDCC點(diǎn)對(duì)點(diǎn)聚焦原理圖
圖3.藍(lán)線為X射線管的出射譜,紅色為經(jīng)鍺LSDCC單色化的X射線入射譜
由于輕元素熒光產(chǎn)額很低,所以DM2500用以LSDCC實(shí)現(xiàn)單色化的高效率單色激發(fā)射線來(lái)激發(fā)輕元素。
用于中元素測(cè)量的鍺二次靶
由于中元素?zé)晒猱a(chǎn)額較高,對(duì)激發(fā)射線的強(qiáng)度要求不高,所以我們采用了二次靶的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)中能量的單色化。巧的是,能實(shí)現(xiàn)輕元素單色化的LSDCC其可選擇的晶體材料中有一種是鍺晶體,鍺的X射線熒光能激發(fā)Zn以下所有元素,所以DM2500用鍺晶體作為LSDCC的材料同時(shí)兼作為二次靶。也就是說(shuō)DM2500巧妙地用一個(gè)光學(xué)器件實(shí)現(xiàn)了二種方法產(chǎn)生的2個(gè)單色能量的激發(fā)源。
激發(fā)源的能譜圖如圖3。
圖4為實(shí)際測(cè)得的水泥生料樣品的XRF光譜圖。
圖4.水泥生料樣品的XRF光譜圖
高分辨率(123eV)高計(jì)數(shù)率(2 Mcps) 高透過(guò)率(AP3.3窗)的SDD探測(cè)器
X射線探測(cè)器的種類有很多,其中硅漂移探測(cè)器SDD是最好的,其分辨率一般小于140eV,是波長(zhǎng)色散的5倍左右。而單色激發(fā)能將背景下降一個(gè)數(shù)量級(jí),所以理論上講如果沒(méi)有譜線重疊干擾,則單色激發(fā)能量色散的峰背比好于一般的波長(zhǎng)色散的。
DM2500采用德國(guó)KETEK公司生產(chǎn)的VITUS H20LE SDD探測(cè)器,其分辨率小于129eV,有效探測(cè)面積20mm2,計(jì)數(shù)率2 Mcps,窗為AP3.3 polymer,最低可測(cè)量B Kα(185 eV)。
圖5. 硅漂移探測(cè)器SDD
合理kV、mA、靶材組合的微焦斑大輻射角薄鈹窗X射線管
為準(zhǔn)確測(cè)量輕元素,LSDCC僅衍射X射線管出射譜中的高強(qiáng)度特征X射線,其有靶材發(fā)出,合理的選用靶材能得到最高的激發(fā)效率。DM2500標(biāo)準(zhǔn)型由于所測(cè)輕元素為Cl以下的元素,所以選擇Ag作為靶材。
選定靶材后,在X射線光管最大功率一定的情況下,如50W,合理的光管高壓(kV)和電流(mA)組合能達(dá)到最大的激發(fā)效率。由于采用點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的聚焦,所以必須采用微焦斑的、大輻射角的X光管。由于靶材的特征X射線能量很低,所以必須用薄鈹窗X射線管。
圖6. 微焦斑大輻射角薄鈹窗X射線管
校準(zhǔn)
X熒光分析方法是一種參考方法,校準(zhǔn)是為得到定量的結(jié)果所必須的。XRF光譜儀通過(guò)比較已知標(biāo)樣與未知樣的光譜強(qiáng)度來(lái)得到定量分析的結(jié)果。其某元素的含量計(jì)算式(即校準(zhǔn)曲線)為:
C=D+EIC+FIC 2 (1)
式中,IC =f(I0),I0為原始強(qiáng)度(即原始道計(jì)數(shù)率),IC為處理后強(qiáng)度(或修正后強(qiáng)度),D、E、F是由校準(zhǔn)確定的系數(shù)。校準(zhǔn)的方法是:用光譜儀測(cè)量一系列校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)樣品或有證標(biāo)準(zhǔn)樣品的每種元素強(qiáng)度,利用回歸分析,例如最小二乘法,確定(1)的系數(shù)。
用已知含量的11個(gè)水泥生料國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)樣品對(duì)光譜儀進(jìn)行校準(zhǔn),得到的數(shù)據(jù)如表1。
表1. 水泥生料國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)結(jié)果數(shù)據(jù)
成分 |
系數(shù)D |
系數(shù)E |
系數(shù)F |
相關(guān)系數(shù)γ |
Na2O |
-0.2863 |
0.004597 |
0 |
0.9863 |
MgO |
-0.3367 |
0.0019030 |
0 |
0.9937 |
Al2O3 |
-0.4244 |
0.0010007 |
0 |
0.9983 |
SiO2 |
-3.0672 |
0.00064984 |
0 |
0.9985 |
SO3 |
0.0093 |
0.00011017 |
0 |
0.9886 |
Cl- |
-0.0076 |
0.000029487 |
0 |
0.9690 |
K2O |
-0.3218 |
0.0032338 |
0 |
0.9988 |
CaO |
11.9195 |
0.0022918 |
0 |
0.9931 |
TiO2 |
0.0015 |
0.0013559 |
0 |
0.9903 |
Fe2O3 |
-1.3648 |
0.0035440 |
0 |
0.9984 |
這些校準(zhǔn)曲線的相關(guān)系數(shù)γ大部分都大于0.99,最小也有0.9690,表示DM2500光譜儀的線性誤差極小。
重復(fù)性
對(duì)水泥生料國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)樣品中的XS1標(biāo)樣,進(jìn)行11次測(cè)量,得到各元素的重復(fù)性數(shù)據(jù)如表2。
表2. 生料標(biāo)準(zhǔn)樣品重復(fù)性測(cè)量數(shù)據(jù)分析(%)
XS11標(biāo)樣 |
Na2O |
MgO |
Al2O3 |
SiO2 |
SO3 |
Cl- |
K2O |
CaO |
TiO2 |
Fe2O3 |
標(biāo)準(zhǔn)值 |
0.46 |
2.74 |
4.16 |
16.71 |
0.70 |
0.03 |
0.75 |
37.61 |
0.26 |
3.16 |
平均示值 |
0.45 |
2.67 |
4.18 |
16.86 |
0.69 |
0.03 |
0.75 |
37.75 |
0.26 |
3.17 |
最大示值 |
0.46 |
2.68 |
4.19 |
16.90 |
0.69 |
0.03 |
0.76 |
37.82 |
0.26 |
3.19 |
最小示值 |
0.44 |
2.66 |
4.16 |
16.80 |
0.69 |
0.03 |
0.75 |
37.69 |
0.26 |
3.15 |
極差 |
0.02 |
0.02 |
0.03 |
0.10 |
0 |
0 |
0.01 |
0.13 |
0 |
0.04 |
示值標(biāo)準(zhǔn)偏差 |
0.006 |
0.0054 |
0.0094 |
0.032 |
0.001 |
0.001 |
0.003 |
0.035 |
0.001 |
0.013 |
3倍示值標(biāo)準(zhǔn)偏差 |
0.018 |
0.0162 |
0.0282 |
0.096 |
0.003 |
0.003 |
0.009 |
0.105 |
0.003 |
0.039 |
GB/T176的重復(fù)性限 |
0.05 |
0.15 |
0.20 |
0.20 |
0.15 |
0.005 |
0.10 |
0.25 |
0.05 |
0.15 |
DM2500與國(guó)標(biāo)的符合性 |
遠(yuǎn)優(yōu) |
遠(yuǎn)優(yōu) |
遠(yuǎn)優(yōu) |
遠(yuǎn)優(yōu) |
遠(yuǎn)優(yōu) |
遠(yuǎn)優(yōu) |
遠(yuǎn)優(yōu) |
遠(yuǎn)優(yōu) |
遠(yuǎn)優(yōu) |
遠(yuǎn)優(yōu) |
注:粉末壓片樣品。在X射線源為半功率(25W),測(cè)量時(shí)間為180s的條件下,連續(xù)進(jìn)行11次測(cè)量所得的結(jié)果。
按國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 176—2017《水泥化學(xué)分析方法》的重復(fù)性要求,光譜儀的重復(fù)性必須滿足:其示值標(biāo)準(zhǔn)偏差的3倍不大于GB/T176的重復(fù)性限,從表2可知,用DM2500光譜儀可以實(shí)現(xiàn)所有元素遠(yuǎn)優(yōu)于國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 176—2017所要求的重復(fù)性。
主要技術(shù)指標(biāo)
測(cè)量元素 |
可選擇B(5)~Zn(30)中的任意元素 |
X射線管 |
電壓:≤50keV,電流:≤2mA,功率≤50W,靶材:Ag(Mo、Rh、Pd、Cr等可選) |
探測(cè)器 |
SDD,有效面積:20mm2,分辨率:≥123eV,計(jì)數(shù)率:≤2Mcps,入射窗:AP3.3 |
測(cè)量范圍 |
0.01%~99.99%。 |
測(cè)量寬度 |
Na2Omax—Na2Omin≤5%,MgOmax—MgOmin≤5%,Al2O3max—Al2O3min≤5%, SiO2 max—SiO2 min≤10%,SO3 max—SO3 min≤5%,Clmax—Clmin≤5%,K2Omax—K2Omin≤5%, CaOmax—CaOmin≤10%,TiO2 max—TiO2 min≤5%, Fe2O3 max—Fe2O3 min ≤5% |
線性誤差 |
Na2O:≤0.03%,MgO:≤0.10%,Al2O3:≤0.14%,SiO2:≤0.14%,Cl-:≤0. 003%, SO3:≤0.10%,K2O:≤0.05%,CaO:≤0.18%,TiO2:≤0.03%,Fe2O3:≤0.10% |
測(cè)量精度 |
S Na2O≤0.01%,SMgO≤0.01%, S Al2O3≤0.02%,SSiO2≤0.05%,S SO3≤0.01%, S Cl≤0.001%,S K2O≤0.003%,SCaO≤0.04%,STi2O≤0.001%,S Fe2O3≤0.02%。 |
系統(tǒng)測(cè)量時(shí)間 |
1~999s,推薦值為180s |
測(cè)量氛圍 |
自充氣系統(tǒng)或氦氣 |
使用條件 |
環(huán)境溫度:5~40℃,相對(duì)濕度:≤85%(30℃),供電電源:220V±20V,50Hz,≤200W |
尺寸及重量 |
540mm×500mm×450mm,35kg |
注:測(cè)量技術(shù)指標(biāo)針對(duì)水泥生料為對(duì)象給出。